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나노 다이아몬드 혼합 슬러리를 사용한 사파이어 웨이퍼의 연마특성 평가
김미선(M.S Kim)
허지인(J.I. Heo)
이현우(H.U.Lee)
박희섭(H.S Park)
한국생산제조시스템학회[2014]
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