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4H-SiC Trench MOSFET 응용을 위한 Ar Reshape 공정 최적화
강민재(Min-Jae Kang)
이정윤(Jung-Yoon Lee)
이원범(Wonbeom Lee)
이남석(Nam-suk Lee)
신훈규(Hoon-Kyu Shin)
성민제(Min-Je Sung)
김홍기(Hong-Ki Kim)
김성준(Seong-jun Kim)
한국전기전자학회[2018]
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