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플라즈마 환경에서 세라믹 소재의 위치에 따른 챔버벽 재증착에 관한 연구
김민중
최은미
정진욱
이승수
윤주영
소종호
한국진공학회[2020]
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반도체 플라즈마 장비용 마그네슘 합금의 마이크로 아크 산화 공정에서 전해액 농도가 산화막의 성장 거동 및 플라즈마 내식성에 미치는 영향 연구
김민중
최은미
정진욱
이승수
윤주영
소종호
한국진공학회[2020]
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