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원자층 증착을 이용한 고 유전율 Al
2
O
3
절연 박막 기반 Indium Zinc 산화물 트랜지스터의 저전압 구동
Eom, Ju-Song
엄주송
김성진
Kim, Sung-Jin
한국전기전자재료학회[2017]
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