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반도체용 특수가스 공급장치 내부에서의 가스누출 원인에 따른 유동해석에 관한 연구
권기선(Ki-sun Kwon)
임종국(Jong-Guk Rhim)
양원백(Won-Baek Yang)
김정덕(Jung-Duck Kim)
한국가스학회[2021]
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