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산업진흥기술 : IGZO 박막 증착 후 진공과 대기 중에서 열처리한 후 결합구조와 전기적인 특성의 비교
안용덕 ( Young Deuk Ann )
오데레사 ( Teresa Oh )
연제호 ( Jae Ho Yeon )
산업진흥원[2016]
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