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전기화학 공정을 이용한 질화규소 기판 상의 금속 전극 형성에 관한 연구
권세훈(Se-Hun Kwon)
임재홍(Jae-Hong Lim)
신성철(Sung-Chul Shin)
김지원(Ji-Won Kim)
한국표면공학회[2016]
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