연구동향 분석
홈
알림
이용안내
오류접수
API
서비스소개
인기 연구 키워드 :
인기 활용 키워드 :
성다인
연구자 Analysis
발표논문
연구자 Analysis
발표논문
년도별 발표논문
검색결과
제목
활용도
공유도
영향력
C6F6 플라즈마를 이용한 패터닝 공정에서의 첨가 가스(Ar, O2) 에 따른 식각 연구
김동우
탁현우
염근영
성다인
한국진공학회[2020]
Google Scholar
네이버 전문정보