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비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 탄화붕소박막의 증착거동
박종극 ( Jong Keuk Park )
이욱성 ( Wook Seong Lee )
배영준 ( Young Joon Baik )
배경은 ( Kyung Eun Bae )
대한금속재료학회(구 대한금속학회)[2014]
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