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박환욱(H.W. Park)
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포토마스크 공정의 Plasma Etching 시 발생하는 Alumina Particle 개선
김대인(D. I. Kim)
정준화(J. H. Chung)
정유석(Y. S. Jeong)
전찬욱(C. U. Jeon)
장일용(I. Y. Jang)
성재환(J. H. Sung)
박환욱(H.W. Park)
한국정밀공학회[2014]
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