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반응성 이온 건식식각에서 RF Power 변화에 따른 표면 조직화 개선 연구
Chang, Hyo Sik
장효식
이정인
송희은
박석기
강민구
강기환
Song, Hee-eun
Park, Seok-Gi
Lee, Jeong In
Kang, Min Gu
Kang, Gi-Hwan
한국전기전자재료학회[2016]
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