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레이저 습식 후면 식각공정을 이용한 미세 유리 구조물 제작
김보성(Bo Sung Kim)
박민수(Min Soo Park)
대한기계학회[2014]
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초음파 진동과 레이저 후면 에칭을 통한 유리 구멍 가공
김혜미(Hye Mi Kim)
박민수(Min Soo Park)
한국정밀공학회[2014]
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