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중성 영역 구리 화학적 기계적 평탄화 공정에서의 작용기에 따른 부식방지제의 영향성 연구
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김재정 ( Jae Jeong Kim )
이상원 ( Sang Won Lee )
한국화학공학회[2015]
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구리 전해 도금을 이용한 실리콘 관통 비아 채움 공정
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김재정 ( Jae Jeong Kim )
김회철 ( Hoe Chul Kim )
한국화학공학회[2016]
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총설 : 반도체 소자용 구리 배선 형성을 위한 전해 도금
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김명준 ( Myung Jun Kim )
김재정 ( Jae Jeong Kim )
한국화학공학회[2014]
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