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DC 펄스 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 TiO₂ 박막의 특성변화에 관한 연구
김규식(Kyu-Sik Kim)
허성보(Sung-bo Heo)
정우창(Uoo-chang Jung)
안은솔(Eunsol An)
박인욱(In-Wook Park)
박용호(Yong Ho Park)
한국표면공학회[2015]
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