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나노계면 형성을 위한 초음파 진동자 위치보정을 위한 레이저 스캐닝 기술
김경한(Kyugnhan Kim)
이제훈(Jae Hoon Lee)
윤광호(Kwang Ho Yoon)
박종권(Jong-Kweon Park)
김현세(Hyunse Kim)
한국정밀공학회[2014]
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