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디지털 홀로그래피를 이용한 포토리소그래피 공정 제품 패터닝의 폭과 단차 측정
강성훈(Sung Hoon Kang)
홍정기(Chung Ki Hong)
정현철(Hyunchul Jung)
양승필(Seung Pil Yang)
신주엽(Ju-Yeop Shin)
마혜준(Hye Joon Ma)
김경석(Kyeong-Suk Kim)
권익환(Ik-Hwan Kwon)
한국비파괴검사학회[2016]
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