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원자층 증착법에 의한 Al₂O₃ 박막 형성에 따른 모스아이 구조 반사방지 필름의 기계적 물성에 미치는 영향
권세훈(Se Hun Kwon)
최현진(Hyun-Jin Choi)
최우창(Woo-Chang Choi)
장경수(Kyung Su Jang)
이우재(Woo-Jae Lee)
윤은영(Eun Young Yun)
한국표면공학회[2015]
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