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OLED의 Thin Film Encapsulation을 위한 MgO 박막의 원자층 증착 장치 및 공정에 관한 연구 Cho, Eou Sik 조의식 권상직 Kwon, Sang Jik 한국반도체디스플레이기술학회[2021] Google Scholar네이버 전문정보