인기 연구 키워드 :
인기 활용 키워드 :

총설 : 반도체 소자용 구리 배선 형성을 위한 전해 도금

김명준 ( Myung Jun Kim ) 김재정 ( Jae Jeong Kim ) 2014년

활용도
공유도
영향력

연구자정보

- 저자 김재정 ( Jae Jeong Kim )
- 발표논문(3)
  발표논문 보기→
공동연구자(3)
유사연구자 (20)※활용도순 상위 20명

공동연구/유사연구

김재정 ( Jae Jeong Kim )

'김재정 ( Jae Jeong Kim )'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
395	17	45.7%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제어	1h-1	1	1	100.0%
	cuchemicalmechanicalpolishing	1	1	100.0%
	damasceneprocess	2	2	100.0%
	metalinterconnection	1	1	100.0%
	superfilling	3	2	66.7%
	4-triazole	3	1	33.3%
	split ring cross resonator(sr ...	3	1	33.3%
	through-silicon via (tsv)	3	1	33.3%
	corrosioninhibitor	6	1	16.7%
	functionalgroup	17	1	5.9%
	electrodeposition	89	2	2.2%
	additive	67	1	1.5%
	copper	199	2	1.0%
계		395	17
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0

연구주제 Time-line

'김재정 ( Jae Jeong Kim )'의 발표논문(3)

중성 영역 구리 화학적 기계적 평탄화 공정에서의 작용기에 따른 부식방지제의 영향성 연구
김재정 ( Jae Jeong Kim ) 이상원 ( Sang Won Lee ) 한국화학공학회 [2015]
구리 전해 도금을 이용한 실리콘 관통 비아 채움 공정
김재정 ( Jae Jeong Kim ) 김회철 ( Hoe Chul Kim ) 한국화학공학회 [2016]
총설 : 반도체 소자용 구리 배선 형성을 위한 전해 도금
김명준 ( Myung Jun Kim ) 김재정 ( Jae Jeong Kim ) 한국화학공학회 [2014]