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유도결합 플라즈마 파워에 따른 MoN 코팅막의 결정구조 및 기계·전기적 특성 변화

장훈 전성용 2022년

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연구자정보

- 저자 장훈
- 발표논문(1)
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공동연구자(1)
- 전성용 1건
유사연구자 (20)※활용도순 상위 20명

공동연구/유사연구

'장훈'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
152	5	22.3%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제어	Υ-Mo2N	1	1	100.0%
	Electrical resistivity	21	1	4.8%
	Inductively-coupled plasma	23	1	4.3%
	Crystal structure	42	1	2.4%
	Roughness	65	1	1.5%
계		152	5
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0

연구주제 Time-line

'장훈'의 발표논문(1)

유도결합 플라즈마 파워에 따른 MoN 코팅막의 결정구조 및 기계·전기적 특성 변화
장훈 전성용 한국표면공학회 [2022]