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발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF3 플라즈마 실리콘 식각 진단 연구

이태현 이환희 신기원 김우재 권희태 권기청 2019년

활용도
공유도
영향력

연구자정보

- 저자 이태현
- 발표논문(1)
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공동연구자(5)
- 권기청 1건
- 권희태 1건
- 김우재 1건
- 신기원 1건
- 이환희 1건
유사연구자 (7)※활용도순 상위 20명
- 강민욱 1건
- 권기청 1건
- 권희태 1건
- 김우재 1건
- 신기원 1건
- 이환희 1건
- 한덕선 1건

공동연구/유사연구

'이태현'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
6	4	83.3%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제어	NF3 plasma	1	1	100.0%
	Si etching	1	1	100.0%
	residual gas analyzer	1	1	100.0%
	optical emission spectroscopy	3	1	33.3%
계		6	4
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0

연구주제 Time-line

'이태현'의 발표논문(1)

발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF3 플라즈마 실리콘 식각 진단 연구
권기청 이환희 이태현 신기원 김우재 권희태 한국진공학회 [2019]