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높이와 간격이 다른 돔형 나노구조를 갖는 Si(111) 기판 위 AlN 박막성장 및 구조적 특성 연구
박병권
한서희
김문덕
김송강
김영헌
2016년
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박병권
한서희
김문덕
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박병권
발표논문(1)
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'박병권'
의 발표논문(1)
높이와 간격이 다른 돔형 나노구조를 갖는 Si(111) 기판 위 AlN 박막성장 및 구조적 특성 연구
김문덕
한서희
박병권
김영헌
김송강
한국물리학회
[2016]