산화막의 질화 조건에 따른 트랩 파라미터에 관한 연구

윤운하(Woon Ha Yoon) 강성준(Seong Jun Kang) 정양희(Yang Hee Joung) 2016년

연구자정보

공동연구/유사연구

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
1,655	23	47.2%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제분류(KDC/DDC)	전기통신	1,499	3	0.2%
주제어	FI CD	1	1	100.0%
	Nitride Films	1	1	100.0%
	Node Poly	1	1	100.0%
	RSA Algorithm(RSA 알고리 ...	1	1	100.0%
	셀 커패시턴스	1	1	100.0%
	질화막	1	1	100.0%
	최종 규격	1	1	100.0%
	하부 전극	1	1	100.0%
	Oxide Films	2	1	50.0%
	Remote System(원격 시스템)	3	1	33.3%
	질화	3	1	33.3%
	Security(보안)	5	1	20.0%
	Nitridation	9	1	11.1%
	산화막	11	1	9.1%
	Cs	12	1	8.3%
	주입	13	1	7.7%
	트랩	13	1	7.7%
	Trap	18	1	5.6%
	unmanned aerial vehicle(무인 ...	24	1	4.2%
	Injection	35	1	2.9%
계		1,655	23
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0